Database error: Invalid SQL: update dev_shop_con set cl=cl+1 where id='231'
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商品详情
WGL光电轮廓仪
编号:KPS-WGL
品牌:仪电   [查询该品牌全部商品]
单位:台
重量:0 克
商品售价:¥0.00
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商品介绍
详细参数
WGL光电轮廓仪

●本仪器采用非接触、光学相移干涉测量方法,测量时不损伤工件表面,

  能快速测得各种工件表面微观形貌的立体图形,并分析计算出测量结果。

适用于测量各种量块、光学零件表面的粗糙度;

标尺、度盘的刻线深度;

光栅的槽形结构镀层厚度和镀层边界处的结构形貌;

磁(光)盘、磁头表面结构测量;

硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。

由于仪器测量精度高,具有非接触和三维测量的特点,

  并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果,本仪器适用于各级测试、

  计量研究单位工矿企业计量室,精密加工车间,也适用于高等院校和科学研究单位等。

参数名称 参数值
表面微观不平深度测量范围在连续表面上,相邻二象素之间没有大于1 / 4 波长的高度突变时 1000 一1nm
相邻二象素之间含有大于1 / 4 波长的高度突变时 130 一1nm
测量的重复性 δRa ≤0.5nm
物镜倍率 40X
数值孔径 Φ 65
工作距离 0.5mm
仪器视场 目视 Φ0.25mm
摄象 0.13×0.13mm
仪器放大倍数 目视 500×
接收器测量列阵 1000X1000
象素尺寸 5.2×5.2µm
测量时间采样(扫描)时间 1S
仪器标准镜 反射率(高) ~50 %
反射率(低) ~4 %
照明光源 白炽灯6V 5W
绿色干涉滤光片波长 λ≒530nm
半宽度 λ≒10nm
主显微镜升程 110 mm
工作台升程 5 mm
X 、丫方向移动范围 ~10 mm
工作台旋转运动范围 360°
工作台顷斜范围 ±6°
计算机系统 P4 , 2 .8G 以上,内存1G以上17寸纯平显示器

 
 
脚注信息
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